1 概述國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)工藝中，冷氫化工段會(huì)不可避免的產(chǎn)生氯硅烷渣漿，渣漿成分復(fù)雜，主要是以四氯化硅為主的氯硅烷液相和硅粉為主的固相，并夾雜雙硅至四硅硅油、氯化鋁及氯化鐵等金屬氯化物。目前國內(nèi)大部分企業(yè)的渣漿處理系統(tǒng)均采用旋轉(zhuǎn)真空干燥對(duì)氯硅烷渣漿先進(jìn)行閃蒸，回收部分四氯化硅，然后對(duì)剩余殘液水解，得到無害固體，產(chǎn)生的廢水進(jìn)入廢水處理。但是由于高沸物、硅粉及金屬氯化物的存在，若四氯化硅蒸出過多，殘液粘度會(huì)很高，剩余殘液非常容易堵塞設(shè)備及管道，并在容器內(nèi)壁結(jié)垢，降低傳熱，加劇堵塞及結(jié)垢。因此，國內(nèi)傳統(tǒng)的做法是僅對(duì)渣漿中的部分四氯化硅回收（回收率一般在60～70%），以保持殘液流動(dòng)性，這樣會(huì)將30～40%四氯化硅扔掉，也會(huì)增加水解所需堿液的成本，加劇水解操作風(fēng)險(xiǎn)及惡化操作環(huán)境，渣漿處理已經(jīng)成為制約多晶硅發(fā)展的瓶頸之一。為了解決上述問題，石家莊科石機(jī)械設(shè)備有限公司利用其技術(shù)優(yōu)勢，與有關(guān)公司合作，研究開發(fā)了采用過濾技術(shù)代替蒸發(fā)的處理工藝，徹底解決了目前困擾多晶硅企業(yè)渣漿處理的技術(shù)難題。其主要優(yōu)勢有以下兩點(diǎn)：1、四氯化硅回收率大大提高采用蒸發(fā)工藝，四氯化硅回收率能達(dá)75%，（一般在65%左右）再提高，就會(huì)造成排渣困難和管道堵塞。而采過濾工藝，回收率可達(dá)95%以上，回收率提高20～30%以上，其經(jīng)濟(jì)效益非常可觀。2、大大降低了廢渣處理的風(fēng)險(xiǎn)，降低了處理成本 采用蒸發(fā)工藝，廢渣中液相含量很高，既需要加大中和堿和水的投放量，又增加了水解的風(fēng)險(xiǎn)。而采用過濾工藝，濾渣（過濾出來的硅粉）中的含液量很低(僅2～4%)，既降低了中和堿和水的投放量，